對于真空產品或系統的使用，請先檢查是否有泄漏，這是保證真空產品正常使用的前提。泄漏檢測方法有很多，例如壓力泄漏檢測方法（水壓方法，氣泡方法，鹵素泄漏檢測，氨泄漏檢測等）和真空泄漏檢測方法（靜態增壓方法，排放管方法，火花法，真空計方法等）。也可以使用檢漏儀工具，進行檢漏能夠及時發現真空產品的問題所在，便于及時維修。

壓力檢查泄漏的方法：用恒定壓力的檢漏材料填充檢查部件的內部。如果檢查部件有泄漏，則里面材料將從泄漏處泄漏。使用這種特定的方法或設備來檢測檢查部件的外部，可以確定從泄漏孔泄漏的泄漏的存在的位置和泄漏率。 

真空檢查泄漏的檢測方法：將泄漏檢測器的測試組件和敏感組件置于真空狀態，并將檢漏物質施加到測試組件的外部。如果存在泄漏，泄漏的材料將通過泄漏進入測試和敏感部件。敏感元件檢測傳感器空間中的泄漏，以識別泄漏的存在與否以及泄漏率的位置。

其它檢漏法：背壓檢漏法與上兩種方法有所不同，不同采用充壓或者真空的方式。而是通過使用背壓腔將泄漏的泄漏氣體填充到測試部件中，然后讓泄漏的氣體在真空中從測試部件泄漏，并通過某種方法（或泄漏檢測器）檢測泄漏，并確定測試零件的總泄漏率。